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愛德華半導體螺桿真空泵IH600

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愛德華真空泵IH600/IH1000在半導體行業有著廣泛的使用,一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用,可以更快的為客戶提供所需真空,同時螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒,腐蝕性氣體非常合適。

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。

iH600/1000 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

愛德華真空泵針對不同的行業,推出不同的真空泵配型,不同的行業,由于使用環境和工作運行狀態不同,需要的產品性能不同,因此愛德華真空泵產品類型眾多,沒一款產品都是針對不同的行業使用有著非常明顯的效果,在高真空和超高真空領域有著非常強大的領導地位。

行業應用:
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600訂貨號:

iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957

愛德華半導體螺桿真空泵IH600性能參數:

   
峰值速度 600 m3h-1
  353 cfm
  10000 l min-1
極限真空 7 x 10-4?mbar
  5.3 x 10-4?Torr
  0.07 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
  4 l min-1
重量 415 kg
極限功率輸入 3.4 kW
電機額定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l

IH1000性能參數:

峰值速度 1000 m3h-1
  589 cfm
  16670 l min-1
極限真空 1 x 10-3?mbar
  7.5 x 10-4?Torr
  0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
  4 l min-1
重量 430 kg
極限功率輸入 3.8 kW
電機額定功率 6.1 kW
油容量 1.48 l

iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59030957

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